深能級瞬態光譜儀

深能級瞬態光譜儀是一種用於物理學領域的分析儀器，於2014年10月13日啟用。

基本介紹

• 中文名：深能級瞬態光譜儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2014年10月13日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器 > 光譜成像儀

技術指標

電源供應：19台。測量能力：c-v，c-t，i-v，in2低溫系統：77k-500k，與理論和實踐相結合的集合。

主要功能

對半導體薄膜材料雜質、缺陷的深能級及界面態的表征。