洪義麟

洪義麟，男，中國科學技術大學博士生導師，，擔任重大專項子項衍射光學元件攻關負責人。

基本介紹

• 中文名：洪義麟
• 專業方向：同步輻射光學/光柵
• 職務：重大專項子項衍射光學元件攻關負責人
• 任職院校：中國科學技術大學

人物經歷

1985年加入國家同步輻射衍射光學元件組

科研項目

承擔和組織多項863大口徑光柵項目，先後研製了大型離子束刻蝕機、旋塗機、彎月面塗膠機、灰化機等系列微細加工設備

研究方向

1、同步輻射光學/光柵

2、強雷射套用/大口徑高閾值衍射元件

3、微細加工/設備研發及加工工藝

論文專著

（1）Optimum inductiverly coupled plasma etching of fused silica to remove subsurface damage layer - Applied Surface Science - 2015 -

（2）Terrace morphology on fused silica surfaces by Ar+ ion bombardment with Mo co-deposition. - Appl.Phys.Lett. - -

（3）High-accuracy alignment of the grating pattern along silicon <1 1 2> directions using a short rectangular array. - Journal of Micromechanics and Microengineering. - -

（4）Near-field holography enhanced with antireflection coatings-an improved method for fabricating diffraction gratings - Chinese Opt. Lett. - -

（5）Investigation on morphology and evolution process of plasma induced pitting damage during the ICP etching of fused silica - Vacuum - -

（6）彎月面塗膠均勻性改進 - 強雷射與粒子束 - -

（7）Alignment method for fabricating a parallel flat-field grating used in soft x-ray region - Appl.Opt. - -

所獲榮譽

2023年5月，被授予中國科學院第四屆“科苑名匠”稱號。