波導氣體雷射器

諧振腔內雷射傳播和振盪的模式由波導理論來確定的雷射器。

諧振腔內雷射傳播和振盪的模式由波導理論來確定的雷射器。固體、液體、氣體、半導體等工作物質都可以做成波導雷射器，其中較為成熟的是CO2波導雷射器。CO2雷射器的波導管是內徑很細(約1mm)、內表面很光滑的空心導管，可以是圓形或方形，通常用氧化鈹(BeO)陶瓷做成。波導管只允許低階模通過，對高階模的損耗很大，故輸出雷射的光束質量很好。CO2波導雷射器的工作氣體是CO2，輔助氣體為N2、He、Xe，工作氣壓高達上百托。由於氣壓高，增益大，每立方厘米雷射工作物質輸出功率可達10瓦以上，是普通CO2雷射器的25倍，為器件小型化提供了條件，即小型化是CO2波導雷射器的一個特點。連續CO2波導雷射器的典型數據為:圓形波導管，內徑1.5mm，放電長度195mm，平凹諧振腔，輸出鏡透射率8%，氣壓比CO2:N2:He:Xe=1:0.9:3.6:0.3，輸出雷射功率達4.1W據報導，德國已研製出安裝在機器人手臂中的CO2波導雷射器。