利用高壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限壓力約10-2帕，工作壓力範圍一般為1.0～10-1帕，抽氣速率範圍為幾百到幾萬升每秒，最大反壓力為幾百帕，是獲得中真空的主要設備之一。
基本介紹
- 中文名：油擴散噴射泵
- 屬性：真空泵
- 組成：擴散噴嘴、噴射噴嘴、泵體等組成
- 原理：利用高壓等條件的油蒸氣射流抽氣
- 工作壓力範圍：1.0～10-1帕
定義,工作原理,
定義
利用高壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限壓力約10-2帕,工作壓力範圍一般為1.0～10-1帕,抽氣速率範圍為幾百到幾萬升每秒,最大反壓力為幾百帕，是獲得中真空的主要設備之一。油擴散噴射泵廣泛用於真空冶煉、空間模擬試驗、真空鍍膜和對油污染不敏感的一些真空系統中。在真空系統中，它可以用作為主抽泵，也可串聯在油擴散泵與機械真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓力範圍的抽氣量和降低前級機械真空泵的抽速容量。因此它又常稱為油增壓泵。
工作原理
同油擴散泵一樣，它也由擴散噴嘴、噴射噴嘴、泵體、擴散器、油鍋、蒸氣導管、冷卻系統和加熱器等部分組成（見圖）。但在性能和泵的結構上，它同油擴散泵有不同之處。兩者的極限真空不同,油擴散泵為10-4～10-5帕以至低於10-5帕,而油擴散噴射泵則為10-2帕。油擴散泵在10-1～10-4帕壓力範圍內要求有滿抽速，而油擴散噴射泵則要求在1～10-1帕壓力範圍內有滿抽速。如兩者名義抽速相同，後者的排氣量就比前者大。油擴散泵裝設有分餾和淨化裝置，而油擴散噴射泵不但不要裝分餾和淨化裝置，還要採用較大的加熱功率加熱和採用沸點低、飽和蒸氣壓高的泵油，致使油擴散噴射泵的油鍋蒸氣壓比擴散泵大數倍或數十倍，即高達數百帕以至數千帕。油擴散噴射泵需要裝設大擴張率(噴嘴的出口面積與其喉部面積之比)的噴射噴嘴和長的擴散器來提高泵的前級反壓力，這樣泵就能穩定地在10-1～1帕壓力範圍或在更高一點的壓力範圍工作。因此，油擴散噴射泵是兼具油擴散泵和噴射泵（見水蒸汽噴射真空泵）抽氣性能的真空泵。 在工作中，為了防止泵油的氧化，油擴散噴射泵的啟動也與油擴散泵一樣,要用前級泵預抽到1帕真空，油鍋才可開始加熱。
