《永磁鎖定的雙穩態電熱微驅動器預微繼電器研究》是依託上海交通大學，由汪紅擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：永磁鎖定的雙穩態電熱微驅動器預微繼電器研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：汪紅
- 依託單位：上海交通大學
- 負責人職稱：研究員
- 批准號：50675139
- 研究期限：2007-01-01 至 2009-12-31
- 申請代碼：E0512
- 支持經費：29（萬元）
項目摘要
MEMS繼電器被認為機電繼電器實現微型化和陣列化的主要技術途徑之一，而構造高性能MEMS繼電器的關鍵在於微驅動器設計。在各種微驅動機制中，電熱微驅動器具有驅動電壓低、輸出力矩大、尺寸效應不太顯著、體積功率密度高的優點，但是一般熱驅動的功耗大且回響速度較慢。為了解決上述問題，本項目提出了一種永磁鎖定的雙聯電熱微驅動器設計，該設計僅利用雙聯電熱機構的升溫過程驅動，藉助永磁鎖定機構實現斷電姿態保持，從設計原理上有望大幅度提升電熱微驅動器在功耗和回響速度兩個方面的特性。本項目將針對上述設計思想開展系統性基礎研究，研究內容包括結構設計與最佳化、微加工工藝與集成製造技術、磁鎖定機制與電熱驅動高效複合原理、器件表征測試等，探索新設計思想的可行性，研製原型器件，全面評價新型微繼電器的性能和潛力。一旦獲得成功，不但意味著一種新型微驅動器的誕生，而且有利於促進我國繼電器產業技術進步，提升國際競爭力。
