水銀蒸汽擴散泵是在機械泵內抽氣過程是靠泵工作室容積周期地增大和縮小實現的。
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產品分類
水銀蒸汽擴散泵與油蒸汽擴散泵
相反，在高真空蒸氣擴散泵內，則是套用工作液連續蒸汽流的抽氣作用。氣體由真空系統進入泵內後，擴散到蒸汽流中，並被此蒸汽流捕集帶到泵的冷凝壁上，於是排入排氣管。
被抽氣體轉移後，蒸汽在冷凝壁上凝結成液體流入蒸發器內。
高真空泵與旋轉式油泵的區別在於：旋轉式油泵的作用範圍直接自一個大氣壓開始，而高真空泵為了正常工作需要預真空度。
大多數高真空泵的特點是壓強低於10毫米水銀柱，被抽容器內的氣體量比容器壁和器件零件所吸附的氣體量要小。因此，高真空泵主要是用於：使容器壁及器件的放氣和經縫隙的泄氣達到平衡，或是驅逐在被容器內零件加熱過程放出的氣體。
最初蒸汽擴散泵是用玻璃製造的，因此，這種泵工作不可靠，時常出事故，安裝和修理工作也複雜，更主要的是由於這種泵外形尺寸小，故不能達到高的作用速率。
現在研製出一種金屬蒸汽擴散泵，它可以消除玻璃製件所具有的許多缺陷；首先消除了生產條件中所不允許之強度小的缺陷。金屬泵可以製造成任意大小，實際上不受參數上限——泵的作用速率限制。此外，金屬泵可使電熱器功率大大增加，因而當工作液蒸汽自噴嘴噴出時，可達到較高的動壓強。這樣，除了根據被抽氣體的擴散原理工作之噴嘴外，還可套用一種借工作液蒸汽流散作用的噴嘴。使用散射噴嘴可使排氣口壓強大大增加，並能保證高真空泵在相對極低的預真空條件下可靠的工作。
高真空泵的極限真空、作用速率及其他參數取決於泵的結構及其工作液的性質。最初是用水銀作為工作液。
產品特點
水銀作為工作液的優點是，在過熱和短時間成熱狀態與大氣接觸時，水銀不會變質，並且在泵內長時期工作也不會分解。由於水銀是一種化學元素，所以飽和蒸汽壓強值不變。恆沸點也是水銀作為工作液的優點。然而水銀也有許多重要缺點。
套用金屬水銀的真空泵是驅逐被抽容器內氣體的良好工具，同時泵本身又是布滿整個被抽容器的水銀蒸汽源。
由於水銀包和蒸汽壓強相當的高（室溫下數量級為10毫米水銀柱），故必須採用特殊的冷凝捕集器，其功用是有效的凝結（冷凝），由真空泵滲透到被抽容器內的蒸汽。
冷凝捕集器工作時要求特殊的冷凝劑（最常用的有液態氮，液態空氣和固體二氧化碳），連續添加冷凝劑會造成使用真空裝置時的額外不放便。
即使有少理的水銀蒸汽，經預真空泵跑到生產房間內，對人體健康也是十分有害的。此外，由於水銀蒸汽與有色金屬接觸會產生汞齊，因此，當製造水銀蒸汽泵時不允許套用有色金屬。
雖然水銀水蒸汽有上述重大缺點，但到目前為止它仍被套用在許多真空裝置中，首先用於水銀整流管抽氣。金屬殼水銀蒸汽泵有各種各樣的結構，其主要差別是：外形尺寸、灌注水銀量、擴散噴嘴的形狀和有無散射噴嘴。因此，各種金屬殼真空泵的作用速率和排氣口壓力彼此都不一樣；至於極限壓強，實際上它並不取決於泵的結構。
