氬離子研磨儀

氬離子研磨儀是一種用於材料科學、化學工程、生物學領域的工藝試驗儀器，於2019年6月24日啟用。

基本介紹

• 中文名：氬離子研磨儀
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學、化學工程、生物學
• 啟用日期：2019年6月24日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 機加工工藝實驗設備

技術指標

離子源：氬氣；加工速度：300μm/h。

主要功能

專業平面研磨系統，可以研磨出更大面積的平滑區域，對於高溫敏感的樣品，配備液氮製冷。