氫化物氣相外延

中文名稱氫化物氣相外延
英文名稱hydride vapor phase epitaxy,HVPE
定  義在外延生長所需的化學組分中,至少採用一種氫化物的氣相外延。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料製備(三級學科)

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