氧18水蒸餾法分離 L}'}C)和N2is0蒸氣壓不同，水蒸餾的‘60和180同位素的一級分離係數在Lnn℃時為1.Uf132,在水精餾過程中，不僅濃縮得到L)ZtsU } L-L171 FC7,同時也濃縮了重氧水:Hz1}U . HDtRU和D玉ad。由於’8 C)同位素在自然界中含量比氖多，占D . 2f14 0.6 ,氧的放射性同位素壽命太短，故常採用’a}作為示蹤原子、水蒸餾法簡單易行，生產規模較小，且Hy如的價格比重水高，故此法已成為分離1 R}的主要方法。已知以色列、德國和前蘇聯均有分離Laf)的水精餾工廠。
