氧離子缺位濃度離子晶體中山於下列情況產生氧離子缺位。(1)不等價置換，為保持電中性，產生組分缺陷、(2)由於熱振動產生熱缺陷(3〕出現非化學計量化合物。單位體積中氧r}*子缺位數與該體積中所有氧離子結點數的比值稱為氧離子缺位濃度陶瓷材料中氧離子缺位濃度對電性能影響很大、某些高溫導電陶瓷如氧化錯固溶體等就是利用氧離子缺位進行導電的:氧離子缺位濃度提高，材料活性提高，有助於質點遷移、可使固相反應和燒結溫度降低。
