氧化鋅膜

氧化鋅膜是指組成為氧化鋅(ZnO) 的薄膜。它具有六角稜柱形纖鋅礦晶格結構，室溫下能隙寬度為3.3ev。

基本介紹

• 中文名：氧化鋅膜
• 外文名：zinc oxide film
• 學科：材料工程
• 領域：工程技術

簡介

氧化鋅膜是指組成為氧化鋅(ZnO) 的薄膜。它具有六角稜柱形纖鋅礦晶格結構，室溫下能隙寬度為3. 3ev。

製取方法

一般可用反應氣相沉積方法製備，包括反應電子束蒸發或反應磁控濺射。大面積均勻氧化鋅膜用化學氣相沉積(CVD)、電漿增強化學氣相澱積(PCVD)或平面直流磁控濺射法製成。

種類及用途

不同工藝條件下制出的氧化鋅膜具有不同的性能，主要有：

(1)氧化鋅透明導電薄膜：在100-800nm的可見光範圍內，透光率大於90%。在製備氧化鋅薄膜的過程中摻入2%左右的氧化鋁薄膜的每方塊電阻可控制在100歐姆以下而且透光率不變。這類薄膜可廣泛用於液晶顯示器件和太陽能電池中，亦可製成光電探測器的視窗以及反射紅外線的熱鏡等。

（2)氧化鋅高阻壓電膜：用平面直流磁控濺射制出的氧化鋅厚膜(2-5um)，結晶性能良好，呈c軸取向，有顯著的壓電效應。可以製成氧化鋅膜壓敏感測器。

相關概念

氧化鋅是鋅的一種氧化物。難溶於水，可溶於酸和強鹼。氧化鋅是一種常用的化學添加劑，廣泛地套用於塑膠、矽酸鹽製品、合成橡膠、潤滑油、油漆塗料、藥膏、粘合劑、食品、電池、阻燃劑等產品的製作中。氧化鋅的能帶隙和激子束縛能較大，透明度高，有優異的常溫發光性能，在半導體領域的液晶顯示器、薄膜電晶體、發光二極體等產品中均有套用。此外，微顆粒的氧化鋅作為一種納米材料也開始在相關領域發揮作用。 氧化鋅生產廠家主要集中在遼寧（大連）、山東（濰坊）、河北（高邑、邢台）、江蘇、浙江等地，生產的氧化鋅以99.7%含量的為主，俗稱997（99.7）氧化鋅。納米氧化鋅以其優異的納米特性，增長迅速，套用領域也越來越廣泛。