氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例

氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例

《氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例》是2015年6月冶金工業出版社出版的圖書,作者是趙祥敏、趙文海。

基本介紹

  • 書名:氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例
  • 作者:趙祥敏、趙文海
  • ISBN:9787502469177
  • 頁數:132頁
  • 定價:25元
  • 出版社:冶金工業出版社
  • 出版時間:2015年6月
  • 裝幀:平裝
  • 開本:32開
內容簡介,作者簡介,

內容簡介

《氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例》以實例的形式,介紹了阿付狼用磁控濺射法製備氧化鋅(ZnO)薄漿甩恥膜、氮化鋁(AlN)薄膜和ZnO/AlN複合膜的詳細工藝和性能表征。全書共分8章,第1章主要介紹ZnO的晶體結構、能帶結構、性能與套用;第2章主要介紹AlN的晶體結構、能帶結構、性能與套用;第3章主要介紹ZnO和AlN薄膜的常用製備方法及性能表征手段;第4~6章分別介紹了AIN薄膜、ZnO薄膜、ZnO/AlN複合膜的製備方法與性能表征;第7章主要介紹不同濺射時間下AlN緩衝層對ZnO薄膜的影響;第8章主要介紹退火溫度對N摻雜ZnO薄膜的影響。
《氧化鋅和氮化鋁薄膜製備與表徵實例》可盼棗辨勸供從事薄膜材料、功能材料、半導體材料及其相關器件研究等領域的科研人員、工程技術人員閱讀,也可作為高等院校材料、物理、化學、電子等相關專業師生的參考書籍。

作者簡介

趙祥敏,女,1979年己月出生,就職於牡丹江師範學院工學院。主要講授電子技術基礎、數字電路實驗、模擬電路實驗、信息技術和C語言程式設計、近代物理實驗等課程,教學效果良好。工作期間共發表論文6篇。戀妹采其中EI檢索1篇阿雅櫻組。中文核心期刊己篇;出版教材2部;主持校級教改項目1項.參與科研和教項櫃改項目10餘項;發明實用經濟型專利3個;牡丹江市第二十四屆自然科學技術學術成果獎二等獎1項,2012~2014年度牡剃婆狼丹江市自然科學技術學帶成果獎一等獎1項.牡丹江市優秀教育科研成果獎一等獎1項,第十二屆全國多媒體課件一等獎1項.牡丹江師範學院優秀教案獎1項。牡丹江師範學院教師課件大賽優秀獎2項。

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