| 中文名稱 | 氧化層錯 |
| 英文名稱 | oxidation induced stacking fault，OISF |
| 定 義 | 晶片表面存在機械損傷、雜質沾污和微缺陷等時，在熱氧化過程中，其近表面層長大或轉化的層錯。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科） |
| 中文名稱 | 氧化層錯 |
| 英文名稱 | oxidation induced stacking fault，OISF |
| 定 義 | 晶片表面存在機械損傷、雜質沾污和微缺陷等時，在熱氧化過程中，其近表面層長大或轉化的層錯。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科） |