| 中文名稱 | 氣體輸運系統 |
| 英文名稱 | gas handling system |
| 定 義 | 在化學氣相沉積或外延生長系統中，向反應室提供原料氣體的管路系統。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |
| 中文名稱 | 氣體輸運系統 |
| 英文名稱 | gas handling system |
| 定 義 | 在化學氣相沉積或外延生長系統中，向反應室提供原料氣體的管路系統。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |
中文名稱 氣體輸運系統 英文名稱 gas handling system 定義 在化學氣相沉積或外延生長系統中,向反應室提供原料氣體的管路系統。 套用學科 材料科學技術(一級學科)...
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