將一個能到-130℃以下的製冷盤管,放置在真空室中或油擴散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應,迅速捕集真空系統的殘餘氣體。
基本介紹
- 中文名:氣體捕集器
- 原理:低溫冷凝效應
- 效果:獲得潔淨的真空環境
- 工作溫度:-120℃至-150℃
- 類型:分為兩類
簡介,工作原理,類型,水汽捕集器,低溫冷阱,性能特點,技術參數,
簡介
用於氣體採集的儀器。套用原理:在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘餘氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽,但其抽除殘餘氣體的能力低,時間長,而且所殘餘氣體還是工件的污染源,從而使產品的產量和質量受到影響。超低溫捕集泵則是解決問題的上佳選擇。
工作原理
它能大大縮短抽真空的時間(可縮短60—90%的抽氣時間)、獲得潔淨的真空環境(真空度可提高半個數量級,達到10-8Torr、10ˉ5Pa)
類型
在實際套用當中,根據所放的位置不同可以分為兩類:
水汽捕集器
它的製冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用於塑膠低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置,使盤管每次開門之前恢復到常溫,避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜,影響下次抽真空。
低溫冷阱
放在油擴散泵的泵口,高閥以下,它主要功能是防止油擴散泵返油,同時也可以加快抽速、提高真空度。由於系統處於真空狀態,無需除霜裝置。
性能特點
1.快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60—90%;
2.降溫迅速,3分鐘內製冷到-120℃,最低可到-150℃;
3.2分鐘熱氣除霜,迅速回溫,5分鐘可再降溫;
4.一台設備可設計兩路負載輸出;
6.具有兩路負載入口和出口溫度顯示、本機溫度顯示;
7.當待機溫度到達後有指示燈提示,可以開始製冷;
8.壓縮機排氣過高、壓力過高保護。
技術參數
型號:TH-145-5P
壓縮機功率:4.6KW
工作溫度:-120℃至-150℃
抽氣速度:51000L/s,
製冷量:500W
冷凝管面積:0.2m2,冷凝管長度:6m直徑12mm
預冷時間:小於等於30min,
降溫時間:小於等於3min
除霜時間:小於等於3min
再降溫時間:小於等於3min,
適用油擴散泵徑:小於等於500mm
冷卻方式:水冷(t≤20度)
型號:TH-145-7P
壓縮機功率:6.3KW
工作溫度:-120℃至-150℃
抽氣速度:73000L/s,
製冷量:1200W
冷凝管面積:0.5m2,冷凝管長度:12m直徑12mm
預冷時間:小於等於30min,
降溫時間:小於等於3min
除霜時間:小於等於3min
再降溫時間:小於等於3min,
適用油擴散泵徑:小於等於800mm
冷卻方式:水冷(t≤20度)
型號:TH-145-10P
壓縮機功率:8.5KW
工作溫度:-120℃至-150℃
抽氣速度:101000L/s,
製冷量:1800W
冷凝管面積:0.7m2,冷凝管長度:14m直徑16mm
預冷時間:小於等於30min,
降溫時間:小於等於3min
除霜時間:小於等於3min
再降溫時間:小於等於3min,
適用油擴散泵徑:小於等於1000mm
冷卻方式:水冷(t≤20度)
型號:TH-145-12P
壓縮機功率:10.1KW
工作溫度:-120℃至-150℃
抽氣速度:153000L/s,
製冷量::2500W
冷凝管面積:0.9m2,冷凝管長度:18m直徑16mm
預冷時間:小於等於40min,
降溫時間:小於等於4min
除霜時間:小於等於3min
再降溫時間:小於等於6min,
適用油擴散泵徑:雙路輸出
冷卻方式:水冷(t≤20度)
型號:TH-145-15P
壓縮機功率:12.3KW
工作溫度:-120℃至-150℃
抽氣速度:250000L/s,
製冷量::3500W
冷凝管面積:1.5m2,冷凝管長度:30m直徑16mm
預冷時間:小於等於40min,
降溫時間:小於等於5min
除霜時間:小於等於3min
再降溫時間:小於等於6min,
適用油擴散泵徑:雙路輸出
冷卻方式:水冷(t≤20度)