氣敏感測儀

氣敏感測儀是可用來測量氣體的類型、濃度和成分，能把氣體中的特定成分檢測出來，並將成分參量轉換成電信號的器件或裝置。也稱氣體感測器。氣敏感測儀主要包括半導體氣敏感測儀、接觸燃燒式氣敏感測儀和電化學氣敏感測儀等，其中用的最多的是半導體氣敏感測儀。

聲波器件表面的波速和頻率會隨外界環境的變化而發生漂移。氣敏感測儀就是利用這種性能在壓電晶體表面塗覆一層選擇性吸附某氣體的氣敏薄膜，當該氣敏薄膜與待測氣體相互作用(化學作用或生物作用，或者是物理吸附)，使得氣敏薄膜的膜層質量和導電率發生變化時，引起壓電晶體的聲表面波頻率發生漂移。