| 中文名稱 | 氟化氙準分子雷射器 |
| 英文名稱 | xenon fluoride excimer laser |
| 定 義 | 以氙、三氟化氮(或氟)、氦的混合氣體為工作物質的準分子雷射器。 |
| 套用學科 | 機械工程（一級學科），光學儀器（二級學科），雷射器件和雷射設備-雷射器名稱（三級學科） |
| 中文名稱 | 氟化氙準分子雷射器 |
| 英文名稱 | xenon fluoride excimer laser |
| 定 義 | 以氙、三氟化氮(或氟)、氦的混合氣體為工作物質的準分子雷射器。 |
| 套用學科 | 機械工程（一級學科），光學儀器（二級學科），雷射器件和雷射設備-雷射器名稱（三級學科） |