氚核離子束是由氚核組成的離子束，氚是氫的同位素之一，它的原子核由一個質子和兩個中子所組成。
基本介紹
- 中文名：氚核離子束
- 外文名：Helium nuclear ion beam
- 實質：是由氚核組成的離子束
- 所屬學科：物理學
簡介,離子束,離子束加工,
簡介
氚是氫的同位素之一，自然界中存在極微，從核反應製得。主要用於熱核反應。氚還有其專用符號T，它的原子核由一顆質子和二顆中子組成。氚的拉丁文名為tritium，意為“第三”又稱超重氫。氚的質量數為3，在天然氫中，氚的含量為10%到15%。1934年，英國E.盧瑟福等人在加速器上用加速的氘核轟擊氘靶，通過核反應發現氚，美國W.W.洛齊爾等證實重水中存在氚，1939年美國L.W.阿耳瓦雷等證明氚有放射性，但是由於氚的β衰變只會放出高速移動的電子，不會穿透人體，因此只有大量吸入氚才會對人體有害。氚會發射β射線而衰變成氦3，半衰期為12.5年。
離子束
離子束是指以近似一致的速度沿幾乎同一方向運動的一群離子。離子源用以獲得離子束的裝置。在各類離子源中，用得最多的是電漿離子源，即用電場將離子從一團電漿中引出來。這類離子源的主要參數由電漿的密度、溫度和引出系統的質量決定。屬於這類離子源的有：潘寧放電型離子源射頻離子源、微波離子源、雙電漿源、富立曼離子源等。另一類使用較多的離子源是電子碰撞型離子源，主要用於各種質譜儀器中。
離子束加工
離子束加工是利用離子源中電離產生的離子，引出後經加速、聚焦形成離子束，向真空室的工件表面進行衝擊，以其動能進行加工的，它主要用於離子束注入、刻蝕、曝光、清潔和鍍膜等方面。離子束加工具有以下特點：
1、離子束可以通過電子光學系統進行聚焦掃描，而離子束流密度及離子能量可以精確控制，因此離子束加工是一種最精密、最微細的加工方法。
2、離子束加工是在高真空中進行的，污染少，適宜於易氧化的金屬材料和高純度半導體材料的加工。
3、離子束加工所造成的加工應力和熱變形很小，適合於對各種材料和低剛度零件的加工。
4、設備費用很高，加工效率低，因此套用範圍受到限制。
