極紫外成像模型應該包括掩模三維效應模型、曝光縫隙位置效應、像差、光刻膠模型、雜散光模型等。 基本介紹 中文名：極紫外成像模型 與深紫外成像相比，極紫外成像模型必須添加陰影效應及雜散光效應模型。對於簡化了的陰影效應來說，其中最主要的部分是仿真垂直與水平線條的偏差現象。此外，EUV波長過短會造成嚴重的雜散光效應，需要通過合理的建模進行仿真。
