《極紫外光刻模板製造工藝中力學參數的擇取和最佳化》是依託哈爾濱工業大學，由鄭亮擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：極紫外光刻模板製造工藝中力學參數的擇取和最佳化
- 依託單位：哈爾濱工業大學
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：鄭亮
- 負責人職稱：副教授
- 申請代碼：A0805
- 研究期限：2008-01-01 至 2010-12-31
- 批准號：10702017
- 支持經費：21（萬元）
項目摘要
在摩爾定律的指引下，半導體工業大致每兩年就跨上一個新的台階。為了實現45納米及更小節點器件的批量生產，需要新一代的光刻技術。作為下一代晶片工藝的領頭羊，極紫外光刻技術被半導體業界普遍認為是現有光學光刻技術的接班人。在極紫外光刻的實現過程中，技術難度最大的環節之一是光刻模板的製造工藝。. 本項目研究的極紫外光刻模板的製造工藝是半導體業界學術研究最前沿的新課題。此研究將採用理論建模、計算仿真、實驗分析相結合的技術線路，對極紫外光刻模板製造工藝中的力學參數進行選擇和最佳化。建立光刻模板的理論方程；探索並研究出等效模擬技術和子模型技術，構建光刻模板製造工藝的三維非線性模型；並利用獲得的實驗數據對模型進行實驗驗證，修正模型重要參數。通過對其力學參數的最佳化，能夠減少甚至完全消除光刻模板的變形，極大提高光刻工藝的最終精確度。為促進極紫外光刻的研究和發展、加速其工業實現提供有效的指導和參考價值。
