梳狀電極執行器

梳狀電極執行器，是MEMS執行器中最可靠的一種。它採用反應離子刻蝕技術刻蝕SOI襯底上的Si活性層而製造。

基本介紹

• 中文名：梳狀電極執行器
• 外文名：comb electrode actuator
• 所屬種類：MEMS執行器
• 刻蝕技術：離子刻蝕技術

介紹

並將乾蝕刻的側面作為反射鏡來使用。它本身不具備自定位能力，為保持反射鏡的進出狀態，可製成利用壓曲現象的棘輪機構，其側面粗糙度可降至40個納米。 如圖1，電極分為固定電極，和多動電極，兩者成手指狀交叉，這樣的結構，可以保證，Y方向上的力互相抵消，保證活動電極沿著X方向運動，當X方向上的驅動力和懸掛彈簧彈力平衡的時候，活動能夠電極就不再運動了，這也就到達了平衡位置，對應的電極力就是驅動力。圖1中活動電極有6個手指，一次驅動只會涉及一面的三個手指。