柔性四件組裝加工手套箱

柔性四件組裝加工手套箱是一種用於信息科學與系統科學、化學領域的工藝試驗儀器，於2014年9月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：柔性四件組裝加工手套箱
• 產地：英國
• 學科領域：信息科學與系統科學、化學
• 啟用日期：2014年9月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電子產品通用工藝實驗設備

技術指標

手套箱 4手套-手套箱尺寸（L*W*H mm）：2400*750*900 5手套-手套箱尺寸（L*W*H mm）：1200*320*1175 掩膜托板 （D-SMH003001） 150mm x150mm；不鏽鋼 系統極限真空 1 x 10-7 mba。

主要功能

在金屬，陶瓷，塑膠等基片的表面進行沉積鍍膜，製備均勻的薄膜，膜厚度可由數百埃至數微米，測量分析鍍膜。利用高溫或低溫熱蒸發源來製備有機金屬材料薄膜，用於納米材料，太陽能光伏電池等領域的元件研發。