林慶煌（Qinghuang Lin），1963年6月出生於中國福建省莆田市仙遊縣園莊鎮園莊社區，華裔美國人，材料工程師，美國國家工程院院士，菱科國際有限公司（Linktech International）總裁。
林慶煌於1985年獲得清華大學學士學位；1988年獲得清華大學碩士學位；1988年—1990年任清華大學化學工程系講師；1994年獲得密西根大學博士學位；1995年在德克薩斯大學奧斯汀分校從事博士後研究工作；1995年—1998年任IBM半導體研發中心DUV抗蝕部工程師；1998年—2002年任IBM托馬斯·沃森研究中心先進光刻部工程師；2002年—2003年任IBM托馬斯·沃森研究中心電介質材料部高級工程師；2003年—2012年任IBM托馬斯·沃森研究中心先進封裝技術研究員；2012年—2013年任IBM托馬斯·沃森研究中心先進材料技術部經理、研究員；2013年—2015年任IBM托馬斯·沃森研究中心先進光刻部經理、研究員；2015年—2016年任IBM托馬斯·沃森研究中心微電子研究實驗室高級經理、研究員；2017年—2018年任IBM托馬斯·沃森研究中心醫療保健物聯網項目經理、研究員；2018年—2019年任荷蘭ASML公司技術開發中心主任；2020年—2023年任泛林集團先進技術發展部技術主任；2023年任菱科國際有限公司總裁。
林慶煌主要從事積體電路研究。
基本介紹
人物經歷,主要成就,科研成就,人才培養,榮譽表彰,社會任職,人物評價,
人物經歷
1980年，畢業於福建省仙遊第一中學，考入清華大學化工系高分子專業。
1985年，獲得清華大學化學工程學士學位。
1988年，獲得清華大學高分子材料碩士學位。
1988年—1990年，任清華大學化學工程系講師。
1994年，獲得密西根大學材料科學與工程博士學位。
1995年，在德克薩斯大學奧斯汀分校從事博士後研究工作。
1995年—1998年，任IBM半導體研發中心DUV抗蝕部工程師。
1998年—2002年，任IBM托馬斯·沃森研究中心先進光刻部工程師。
2001年—2002年，任IBM的托馬斯·沃森研究中心矽技術總監助理。
2002年—2003年，任IBM托馬斯·沃森研究中心電介質材料部高級工程師。
2003年—2012年，任IBM托馬斯·沃森研究中心先進封裝技術研究員。
2012年—2013年，任IBM托馬斯·沃森研究中心先進材料技術部經理、研究員。
2013年—2015年，任IBM托馬斯·沃森研究中心先進光刻部經理、研究員。
2015年—2016年，任IBM托馬斯·沃森研究中心微電子研究實驗室高級經理、研究員。
2017年—2018年，任IBM托馬斯·沃森研究中心醫療保健物聯網項目經理、研究員。
2018年—2019年，任荷蘭ASML公司技術開發中心主任。
2020年—2023年，任泛林集團先進技術發展部技術主任。
2023年，任菱科國際有限公司（Linktech International）總裁。
主要成就
科研成就
- 科研綜述
林慶煌曾主持或參與0.25微米至5納米十幾代計算機CMOS邏輯晶片、動態隨機存儲器（DRAM）晶片、磁性隨機存儲器（MRAM）晶片的探索研發；研發出了248納米雙層光刻膠技術。其光刻技術成就及在磁性隨機存儲器（MRAM）晶片和先進邏輯晶片的套用等技術被用於生產製造高端伺服器及手機中的尖端晶片。
- 學術交流
據2024年3月美國國家工程院官網林慶煌個人簡歷數據，林慶煌組織發起學術會議109次。2008年，他共同創辦“中國國際半導體技術大會”。2012年，他發起並與中國化學會高分子委員會共同創辦高端“中美高分子前沿論壇”。
- 學術論著
據2024年3月美國國家工程院官網林慶煌個人簡歷數據，林慶煌已發表經同行評審的期刊論文44篇、會議論文7篇，編輯出版書籍和期刊論文集20部、會議論文集6部。
專著名稱 | 出版時間 | 出版社 |
|---|---|---|
《Polymers for Microelectronics and Nanoelectronics》 | 2004年 | |
《Materials, Processes and Reliability of Advanced Interconnects for Micro- and Nanoelectronics》 | 2007年 | 美國材料研究學會出版社 |
- 專利成果
據2024年3月美國國家工程院官網林慶煌個人簡歷數據，林慶煌已獲得美國授權專利132項，獲得授權外國（除美國以外）專利19項。
專利名稱 | 授權時間 | 專利號 |
|---|---|---|
Intelligent and disposable device for selective electrical stimulation of apoptosis | 2022年4月26日 | US11311234 |
Neuro-chemical sensor with inhibition of fouling on nano-electrode | 2022年6月28日 | US11370004 |
Adaptive Chronic Pain Relief via Implanted Electrical Neurostimulation | 2022年7月19日 | US11389655 |
Adaptive Electrical Neurostimulation Treatment to Reduce Pain Perception | 2023年5月2日 | US11638825 |
Medical Device for Stimulating and Sensing Bioactivity | 2023年9月12日 | US11754550 |
註：所列舉均為美國專利 | ||
- 科研成果獎勵
成果名稱 | 獲得獎項 |
|---|---|
248nm bilayer resist technology | 2004年美國國家技術勳章 |
193nm Negative-Tone Development Process for Advanced Memory and Logic Fabrication | 2015年IBM研究成就獎 |
Spin Torque Magnetic Random-Access Memory | 2015年IBM研究傑出成就獎 |
Contributions to Fundamental Understanding of Line Edge Roughness in Semiconductor Technology | 2016年IBM研究成就獎 |
人才培養
- 指導學生
學生姓名 | 學生層次 | 時間 |
|---|---|---|
Suresh Sriram | 博士研究生 | 2000年 |
Matthew Pinnow | 博士研究生 | 2003年 |
Darshan Gandhi | 博士研究生 | 2004年 |
Robert L. Bruce | 博士後 | 2010年 |
Chao Wang | 博士後 | 2012年 |
博士後 | 2012年 | |
Lele Peng | 博士研究生 | 2016年 |
- 講授課程
課程名稱 | 時間 | 授課地點 |
|---|---|---|
Principles of Chemical Engineering | 1988年—1990年 | 清華大學 |
榮譽表彰
時間 | 榮譽表彰 | 表彰單位 |
|---|---|---|
1985年 | 優秀畢業生獎 | 清華大學 |
1989年 | 青年教師獎 | 清華大學 |
2011年 | 發明大師 | IBM |
2014年 | ||
2015年 | 美國化學會材料協會會士 | 美國化學會材料協會 |
2017年1月 | 國際光學工程學會 | |
2018年 | 工業聚合物科學家獎 | 美國化學學會高分子化學分會 |
2019年 | 美國化學學會高分子化學分會會士 | 美國化學學會高分子化學分會 |
2020年 | Roy W. Tess獎 | 美國化學學會高分子材料科學與工程部 |
2022年 | 超越獎 | 泛林集團 |
2023年 | 工業與工程化學獎 | 美國化學會 |
2024年 | 美國國家工程院 |
社會任職
時間 | 擔任職務 |
|---|---|
2000年—2011年 | 美國化學學會高分子材料科學與工程部網站管理員 |
2011年 | 《Journal of Material Research》客座主編 |
2011年3月—2019年12月 | 《Journal of Micro/Nanolithography》副主編 |
2012年—2013年 | 美國化學會高分子材料科學與工程部秘書 |
2012年、2013年 | 中國國際半導體技術大會主席 |
2016年 | 美國化學會高分子材料協會主席 |
2019年 | 《Chemistry of Materials》編輯顧問 |
2020年 | 《Journal of Micro/Nanopatterning》副主編 |
2021年—2023年 | 國際光學工程學會高級光刻和圖案化研討會聯合主席 |
2023年10月 | 《Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology》客座主編 |
2024年 | 國際光學工程學會高級光刻和圖案化研討會主席 |
- | |
- | 《ACS Applied Materials and Interfaces》審稿人 |
- | 《ACS Nano》審稿人 |
- | 《IEEE Transactions of Electronic Devices》審稿人 |
- | 《Journal of Micromechanics and Microengineering》審稿人 |
- | 《Materials Today》審稿人 |
- | 《Materials Science and Engineering B》審稿人 |
- | 《Nanoscale》審稿人 |
- | 《The Journal of Physical Chemistry》審稿人 |
- | 《Polymer》審稿人 |
- | 《Journal of Polymer Science: Polymer Physics》審稿人 |
- | |
- | 《RSC Advances》審稿人 |
- | |
- | 《Polymer Engineering and Science》審稿人 |
- | 《Polymer Composites》審稿人 |
- | 美國半導體研究協會提案評審人 |
- | 美國國家科學基金會提案評審人 |
- | 新加坡國家科學技術委員會提案評審人 |
人物評價
林慶煌在積體電路製造光刻材料和工藝領域作出了突出貢獻。（國際光學工程學會評）
林慶煌是半導體晶片行業的知名專家，具有研究、開發、工程、 管理和技術戰略決策的廣泛經驗。（清華大學化學工程系評）
林慶煌在推動基礎研究和技術轉讓方面的熱情對微電子產業產生了不可磨滅和深遠的影響（Qinghuang’s enthusiasm for advancing both fundamental research and technology transfer has had an indelible and lasting impact on the microelectronics industry.）。（林慶煌的同事Christopher L. Soles評）
