有用離子百分比

有用離子百分比即有用離子束占總離子束的百分比。一般來說，離子源給出的總離子束包括單電荷離子、多電荷離子、各種分子離子和雜質元素離子等的離子束。離子源用以獲得離子束的裝置。在各類離子源中，用得最多的是電漿離子源，即用電場將離子從一團電漿中引出來。

加速器從離子源獲得的離子束的能量一般從幾百電子伏到幾萬電子伏。因為用高引出電壓方式獲得較高能量的離子束受到擊穿的限制，所以必須使離子在電場和磁場中加速,這類裝置叫做加速器(見粒子加速器)使用各種加速器可以使離子獲得很高的能量(如幾百吉電子伏)，也可以使離子減速，以獲得能量較低的(如幾十電子伏)但流強很高的離子束。