質量色散度

質量色散度是指能量相同、而質荷比不同的離子束，通過磁分析器後，按荷質比率大小分離開來的程度。離子源用以獲得離子束的裝置。在各類離子源中，用得最多的是電漿離子源，即用電場將離子從一團電漿中引出來。這類離子源的主要參數由電漿的密度、溫度和引出系統的質量決定。

離子源的主要參數有:①離子束流強。即能夠獲得的有用離子束的等效電流強度，用電流單位A或mA表示。②有用離子百分比。即有用離子束占總離子束的百分比。一般來說，離子源給出的總離子束包括單電荷離子、多電荷離子、各種分子離子和雜質元素離子等的離子束。③能散度。由於離子的熱運動和引出地點的不同，使得離子源給出的離子束的能量對要求的單一能量有一定離散。