有機銦源

特性

用於金屬有機化合物氣相沉積(MUC VL7)具有很高揮發性護高純度的有機鋼化合物可利用格利雅反應製備二幾甲基鑰、二甲錮三甲胺加合物、二甲鑰=甲磷加合物採用升華法和加合物法提純。三乙基銦、二甲基乙基銦、二乙基甲基銦採用減壓精餾和加合物技術提純。共甲基鋼對空氣和水敏感，三乙基}1、二甲基乙基銦、二乙基甲基銦是白燃的液體。有機銦源的熱穩定性比有機缽源和有機鋁源差。它們主要用於沉積磷化銦、砷化銦稼磷、砷化銦稼和磷化鋁銦缽。