有機砷源，用於金屬有機化合物氣相沉積( nrroc}n)替代伸烷，具有一定揮發性、高純度的有機砷化合物。
特性
卞要指三甲基砷「( CH3 }3f}}、三乙基砷L } C?HS } 7}-S J、一乙基氫化砷L C cZH;)=AS}i l .苯基砷烷} (C},F3K)rAai-f}J .叔丁基砷烷}(C,H})ILsHz7}利用格利雅反應製備，用精密精餾、減壓精餾及配位體置換技術提純。可燃、有毒液休毒性比砷烷小得多，如氣甲基砷LCSo達2x1 3}主要用來替代砷烷製備In一V族化合物半導體。
