最高倍的電子顯微鏡

指日立製作所成功地開發出的具有世界最高分辨能力的"S－5200"掃描式電子顯微鏡

日立製作所最近成功地開發出了具有世界最高分辨能力的"S－5200"掃描式電子顯微鏡，能夠觀察到0.5納米（1納米=10億分之一米）的微小物質。利用一台這樣的顯微鏡可以測定觀察物質表面的狀況和立體圖形。通過尋找物質細微的缺陷，可以提高半導體的生產效率和精度，可使用超精細加工技術開發新型材料。其價格在8400萬日元以上。
這種電子顯微鏡採用的是日立公司獨自開發的將觀察物質插入對物鏡片的方式，可以進行超細微領域的觀察。此外，即使在極微小的範圍內也能夠除去對物質的污染。同以往相比，其耐震性提高了兩倍以上。