首先計算出不同
散焦量時
成像最好的光強值
的倒數的一組
對數值
，然後以散焦量為縱坐標，以
光強倒數的對數為橫坐標，可繪製出一條中心曲線。然後分別計算出當
關鍵尺寸CD變化
5%、
10%、15%和20%所對應的光強的倒數的對數隨不同散焦量的變化曲線，所構成的曲線族如同一顆灌木叢。
從曝光-散焦樹中可以分析出如下幾個曝光特性：
（1）通過曲線族的陡直程度可以說明曝光焦深的大小，曲線越陡說明焦深越大；
（2）中心曲線在零散焦的位置說明基準曝光量
的大小，該值越小，則曝光量越高；
（3）曲線族在零散焦附近的散焦曲線間隔越大，測
曝光寬容度越大。
