晶格失配

晶格失配是指由於襯底和外延層的晶格常數不同而產生的失配現象

當在某種單晶襯底上生長另一種物質的單晶層時,由於這兩種物質的晶格常數不同,會在生長界面附近產生應力,進而產生晶體缺陷——失配位錯.通常把這種由於襯底和外延層的晶格常數不同而產生的失配現象叫晶格失配

晶格失配度 (以下簡稱失配度 ), 即晶格錯配度 ,是描述襯底和外延膜晶格匹配的參量 。晶格失配和熱膨脹係數失配不同程度地影響晶體的外延生長 ,在外延層中產生大量缺陷, 甚至無法生長單晶 ,影響器件的性能和壽命。