景玉鵬

景玉鵬，研究員。

基本介紹

• 中文名：景玉鵬
• 國籍：中國
• 職業：研究員
• 所屬部門：微電子設備技術研究室

個人信息

所屬部門：

微電子設備技術研究室(八室)

學科類別：

自動化

研究方向：

二氧化碳超臨界流體半導體綠色無水清洗技術；RF-MEMS；MEMS氣敏感測器

擔科研項目情況：

2009年2月，製作完成一台內徑350毫米的二氧化碳超臨界流體工藝平台，該平台能進行清洗，HPCVD，高速無電漿刻蝕和矽片三維加工和納米管內部鍍膜技術,是一台多功能創新型技術設備。 參加國家863重大專項，危化品檢測與跟蹤網路化系統集成及產業化套用技術。感測器電學參數測試子課題負責人。參與863國家重大專項（01、02），32nm以下設備關鍵技術研究及創新設備技術探索，二氧化碳超臨界流體半導體清洗技術負責人。