《新型水溶性負性膠印用光刻蝕材料》是依託北京大學，由曹維孝擔任負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：新型水溶性負性膠印用光刻蝕材料
- 項目負責人：曹維孝
- 項目類別：面上項目
- 依託單位：北京大學
- 支持經費：7（萬元）
- 研究期限：1994-01-01 至 1996-12-31
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：E0309
- 批准號：59373126
項目摘要
製備了四種感光速度快、熱穩定好的取代二苯胺重氮鹽及相應的重氮樹脂，並與線型成膜樹脂組合得到貯存性能好的負性膠印用光刻蝕材料。比羅系統地研究了二苯胺重氮鹽與多聚甲醛在酸性介質的縮合反應，表明在通常採用的縮合條件，多聚甲醛的摩爾配比應比重氮鹽大，才能獲得所需粘度（分子量）的重氮樹脂。製備了多種負離子的重氮樹脂，研究了負離子對重氮樹脂的影響，結果是不同負離子對感光劑的感光性影響不大而對熱穩定性有明顯影響。合成了三種不同類型的成膜樹脂，研究了成膜樹脂與感光劑重氮樹脂間的光交聯反應，結果是只有側鏈帶羥基的線型高分子才與重氮樹脂發生光交聯反應，並從模型化合物的研究，證明主要是通過形成醚鍵實現光交聯。
