摻雜金剛石膜機械性能及其可加工性研究

摻雜金剛石膜機械性能及其可加工性研究

《摻雜金剛石膜機械性能及其可加工性研究》是依託南京航空航天大學,由左敦穩擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:摻雜金剛石膜機械性能及其可加工性研究
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:左敦穩
  • 依託單位:南京航空航天大學
  • 負責人職稱:教授
  • 批准號:50075039
  • 研究期限:2001-01-01 至 2003-12-31
  • 申請代碼:E0509
  • 支持經費:18(萬元)
項目摘要
採用熱絲法通過氣相摻雜B、P、N等元素獲得金剛石膜,研究工藝參數對摻雜金剛石膜微結埂⒂αΑ⒂捕取⑷托緣然敵閱艿撓跋歟嘔ひ詹問煌保芯肯咔懈睢⒌緗飧春涎心サ確椒ǘ圓粼詠鷥帳さ募庸ぬ匭浴1狙芯恐莢諭ü粼猶岣囈鷥帳さ哪湍バ浴⒛腿刃院塗杉庸ば裕願納平鷥帳すぞ呤褂眯閱芎徒檔徒鷥帳すぞ咧圃斐殺揪哂兄匾庖濉

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