《摻雜金剛石膜機械性能及其可加工性研究》是依託南京航空航天大學,由左敦穩擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名:摻雜金剛石膜機械性能及其可加工性研究
- 項目類別:面上項目
- 項目負責人:左敦穩
- 依託單位:南京航空航天大學
- 負責人職稱:教授
- 批准號:50075039
- 研究期限:2001-01-01 至 2003-12-31
- 申請代碼:E0509
- 支持經費:18(萬元)
項目摘要
採用熱絲法通過氣相摻雜B、P、N等元素獲得金剛石膜,研究工藝參數對摻雜金剛石膜微結埂⒂αΑ⒂捕取⑷托緣然敵閱艿撓跋歟嘔ひ詹問煌保芯肯咔懈睢⒌緗飧春涎心サ確椒ǘ圓粼詠鷥帳さ募庸ぬ匭浴1狙芯恐莢諭ü粼猶岣囈鷥帳さ哪湍バ浴⒛腿刃院塗杉庸ば裕願納平鷥帳すぞ呤褂眯閱芎徒檔徒鷥帳すぞ咧圃斐殺揪哂兄匾庖濉