掩模版保護膜是薄的光學透明膜。
基本介紹
- 中文名：掩模版保護膜
- 類別：光學透明膜
- 用途：密封、防止沾污物，減少由曝光系統圖像平面的污染而引起的光刻缺陷
掩模版保護膜 一種很薄的光學透明膜，一般由硝化纖維組成二將該透明膜粘附在框架上，由框架來支承，並私附在光掩模版(或光掩模中間板)卜。它的目的是密封，防止沾污物，減少由曝光系統圖像平面，!，的污染而引起的光刻缺陷
掩模版保護膜是薄的光學透明膜。
掩模版保護膜 一種很薄的光學透明膜，一般由硝化纖維組成二將該透明膜粘附在框架上，由框架來支承，並私附在光掩模版(或光掩模中間板)卜。它的目的是密封，防止沾污物，減少由曝光系統圖像平面，!，的污染而引起的光刻缺陷 ...
掩模版（mask）簡稱掩模，是光刻工藝不可缺少的部件。掩模上承載有設計圖形，光線透過它，把設計圖形透射在光刻膠上。掩模的性能直接決定了光刻工藝的質量。在投影式光刻機中，掩模作為一個光學元件位於會聚透鏡（condenser lens）與投影...
掩模保護膜是蒙貼在鋁合金框架上的一層透明薄膜，防止灰塵掉落在掩模有圖形的一側。有了這個薄膜的保護，灰塵顆粒只能掉落在掩模版玻璃的一側或保護膜上。由於玻璃基板的厚度和保護膜距離基板的距離相近，均為6mm左右，所以這些吸附在掩模...