《掃描探針顯微鏡製備納米樣板及其量值溯源的研究》是依託西安交通大學，由景蔚萱擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：掃描探針顯微鏡製備納米樣板及其量值溯源的研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：景蔚萱
- 依託單位：西安交通大學
- 批准號：50475086
- 申請代碼：E0512
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
- 支持經費：26（萬元）
中文摘要
本項目採用原子力顯微鏡（AFM）探針誘導陽極氧化工藝、掃描隧道顯微鏡（STM）探針電流誘導氧化工藝、AFM探針機械劃刻工藝分別在Si基底、Ti膜和Au膜上製備節距小於100nm、線寬小於50nm的一維和二維納米樣板。研究三種加工方法的理論基礎和動力學規律、加工參數的分析和最佳化；分別用三種方法製備名義節距小於100nm、線寬小於50nm的一維和二維納米樣板，開發出一套完整的製備工藝，並對相應的納米樣板進行精度分析；對基於掃描探針顯微鏡（SPM）的加工和測量不確定度影響因素進行分類，並對探針與樣品的耦合作用、掃描器的遲滯效應和爬行效應進行詳細分析，得出相應的線上補償模型；對參數易控、圖形質量好、重複性高的納米樣板進行標定和量值溯源。上述納米樣板的研製和量值溯源的研究，將極大地推動納米測量技術和半導體、平面顯示器以及高密度存儲器製造業的快速發展，加速我國納米、亞微米尺寸計量量值溯源體系的建立。
