掃描俄歇微探針[法]（scanning Auger microprobe）是2016年全國科學技術名詞審定委員會公布的化學名詞。
基本介紹
- 中文名：掃描俄歇微探針[法]
- 外文名：scanning Auger microprobe
- 所屬學科：化學
- 公布時間：2016年
定義,出處,
定義
超高真空條件下，用電子束對樣品表面進行掃描取得二次電子像，根據所選微區能進行各種俄歇分析的方法。
出處
《化學名詞》第二版
掃描俄歇微探針[法]（scanning Auger microprobe）是2016年全國科學技術名詞審定委員會公布的化學名詞。
掃描俄歇微探針[法]（scanning Auger microprobe）是2016年全國科學技術名詞審定委員會公布的化學名詞。定義超高真空條件下，用電子束對樣品表面進行掃描取得二次電子像，根據所選微區能進行各種俄歇分析...
掃描俄歇微探針是一種用於物理學、化學、材料科學領域的分析儀器，於2002年04月08日啟用。技術指標 檢測範圍：原子序數大於He的所有元素 檢測極限：0.1 at% 信息深度：0.5~5 nm 空間解析度：25 nm 能量解析度≤0.3% 半定量：相對...
1970 年通過掃描細聚焦電子束, 實現了表面組分的兩維分布的分析(所得圖像稱俄歇圖)，出現了所謂的掃描俄歇微探針。1972 年 ，R .W .Palmberg利用離子濺射，將表面逐層剝離，獲得了元素的深度分析，實現了三維分析。至此，俄歇譜儀的...
學位級別 d 1997n 學位授予單位 清華大學 學位授予時間 1997 關鍵字 納米薄膜電遷移 掃描俄歇微探針 變角光電子譜 館藏號 唯一標識符 108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.012002618433 館藏目錄 BSLW 1998 TN304.055 13\ \ ...