扇形照明

在扇形照明中，可調節的光源變數有：扇形張角（angle），扇形旋轉角度（rotation angle）及照明寬度（width）。

對於一台確定波長和型號的光刻機，其解析度還與光照條件的設定有關。圖1是不同光照條件下，NILS隨圖形周期變化的曲線。掩模圖形是1:1的密集線條。對應掩模版上相同的圖形，使用常規照明(conventional)、環形照明(annular)、 Quasar 照明所得到的空間圖形的對比度是不一樣的。曝光時，應該根據圖形的尺寸選取最佳的光照條件。