感x射線高分子

特點

指對x射線敏感的高分子材料，這種材料通常可以作為x光杭蝕劑二與其他光致抗蝕劑一樣，在x光作用下，聚合物發生光降解，或者光交聯，引起溶解度變化，分別構成正性光刻膠和負性光刻膠。一般而言，由士x射線的能量較高，作為匕子束的抗蝕劑多數能夠作為x光杭蝕劑使)行，其靈敏度的變化趨勢是一致的。常見的包括聚甲叢丙烯酸酚、聚烯}l等:為了增加靈敏度，常引入重金屬離子增加對x射線的吸收。