微焦點X射線發生裝置

微焦點X射線發生裝置

微焦點X射線發生裝置是一種用於信息科學與系統科學、核科學技術領域的分析儀器,於2016年6月12日啟用。

基本介紹

  • 中文名:微焦點X射線發生裝置
  • 產地:日本
  • 學科領域:信息科學與系統科學、核科學技術
  • 啟用日期:2016年6月12日
  • 所屬類別:分析儀器 > 電子光學儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

1 X射線管種類:開放式微焦點管 2電壓:20-160kV 3最大電流:≥180μA 4射線束角度:≥140° 5 靶功率:高功率靶,≥8W 6 焦點到檢測物體最小距離FOD ≤0.5mm 7極限解析度(JIMA卡):≤0.25μm 8 泄漏量:<1μSv/h 9 靶要求:鎢材質穿透靶。

主要功能

超高解析度開管微納焦點射線源,用於CD-5BXAnCT微納結構超微分辨計算機三維成像分析儀的研究開發。

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