特性電漿質譜的一種:樣品引人電漿內離子化，然後進行質1}分析。與通常電感偶合等離r體質譜L lC'l'-!vl助不同之處在於，它是依靠感應微波產生等離了體，而}f.把大小適‘.1的共振腔與微波發牛器相結合:共振腔Jfl來聚集能量，使裝在共振腔中間部位的毛細管中的惰性氣體(氫或氦)等離了化，樣品在等離子休中電離然後進行質譜分析。這種質i}儀的主要用途是分析溶液，」，的金屬咤素
