微型泵設計製造研究

《微型泵設計製造研究》是依託清華大學，由周兆英擔任項目負責人的重點項目。

基本介紹

• 中文名：微型泵設計製造研究
• 依託單位：清華大學
• 項目負責人：周兆英
• 項目類別：重點項目
• 批准號：59235111
• 申請代碼：E05
• 負責人職稱：教授
• 研究期限：1993-01-01 至 1996-12-31
• 支持經費：32（萬元）

項目摘要

研製了微小梁、膜、零件、流量感測器、驅動裝置、閥和泵等十餘種微型器件，研究套用多種微機械製造技術。建立微流量系統的數學力學模型和設計仿真方法，開發微流量和微結構機械性能測試系統，進行了微機理研究。泵的性能達到國際先進水平，開發套用3項，發明專利1項，論文70餘篇，培養研究生9人、博士後3人。開展國際合作。微小壓電馬達的研究首次提出行波壓電微馬達廣義瑞利波致動機理和粗糙度波假設及廣義赫茲接觸理論，建立了轉速轉矩數學模型並進行了實驗驗證；提出縱彎式壓民微馬達驅動原理，建立了轉速轉矩模型；研製出直徑為φ3mm的行波壓電微馬達樣機和轉子小於φ0.5mm的行波和駐波壓電微馬達模型；用LIGA工藝加工出深度達500μm微結構。