微區掃描測試系統是一種用於工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的科學儀器，於2015年12月7日啟用。
基本介紹
- 中文名：微區掃描測試系統
- 產地：美國
- 學科領域：工程與技術科學基礎學科、材料科學
- 啟用日期：2015年12月7日
技術指標,主要功能,
技術指標
微區掃描探針平台,1.2掃描範圍(X、Y、Z)不低於100mm×100mm×100mm ； 1.3線性位移識別解析度不低於50nm； 1.4掃描解析度（X、Y、Z）分別都小於1nm 1.5最大掃速不低於10mm/s 3.SVET掃描振動參比電極系統 3.1高性能鎖相放大器 （1）頻率範圍：1mHz~250KHz 4.SECM掃描電化學顯微鏡：掃描速度: 5000V/sec 5 SKP 掃描開爾文探針系統 5.1高性能鎖相放大器 （1）頻率範圍：1mHz~250kHz。
主要功能
局部腐蝕研究、電化學研究。
