西北工業大學“微/納米系統實驗室” 成立於1992年，是國內較早開展微機電系統（MEMS）研究的單位之一。目前實驗室已經成為西北工業大學微機電系統與納米技術方面博士、碩士研究生培養以及本科生創新設計培養的重要基地，具有較強的研究開發與人才培養實力。依託“微/納米系統實驗室” 建設和發展的“”學科是一個新興、交叉、邊緣學科，被列為國防科工委重點學科、西北工業大學“十五”重點建設學科、國家“985工程”重點建設項目，現為機械工程一級學科博士學位授予權下屬自設二級學科博士點。微/納米系統實驗室近年來共承擔了國家自然科學基金（含重大專項）、863/MEMS重大專項、國防863項目、國防基礎研究計畫課題、省基金、部委基金、國際合作項目等重大項目幾十餘項；出版的系統、全面介紹微機電系統研究的專著《微機械與微細加工技術》被教育部選為研究生推薦教材，並在台灣地區發行；實驗室科研人員共發表研究論文兩百多篇，其中半數左右被SCI、EI等收錄。
基本介紹
- 中文名：微/納米系統陝西省重點實驗室
- 簡介：成立於1992年
- 重點建設學科：微機電系統與納米技術
- 研究方向：微機電系統集成設計
實驗室簡介,實驗室硬體設施,
實驗室簡介
微/納米系統實驗室面向航空、航天、航海套用，致力於發展國防事業，以實現裝備的微型化、集成化、信息化為首要目的，並結合西部大開發戰略，促進高新技術產業化，產、學、研相結合，開展微/納米系統及其相關技術的研究。
微/納米系統實驗室的主要研究方向為：微機電系統集成設計，微型智慧型結構與智慧型蒙皮，微型能源，微光學器件，微系統製造及其相關技術，套用微系統集成及其相關技術，納米機電系統納米檢測技術等。
另外，微/納米系統實驗室積極開展國際學術交流與合作，現與法國貢比涅技術大學、香港城市大學、香港科技大學、美國麻省理工學院、加拿大NRC等有著良好的學術合作關係。
實驗室硬體設施
微/納米系統實驗室下設有微機電系統集成設計研究室、套用微系統研究室、微/納檢測技術研究室等。
實驗室面積3200平米，含淨化室800平米（其中淨化等級100級的淨化面積150平米），包括MEMS集成設計單元，矽基材料微細加工單元，準分子雷射非矽材料微細加工單元，微/納檢測單元，淨化與工作保障單元。
現有和已經採購的主要設備包括：德國Suss公司光刻機，德國Suss公司鍵合機，英國STS公司等離子耦合刻蝕機，真空濺射鍍膜機，反應離子刻蝕機，顯微數碼攝像系統及體視顯微鏡，薄膜厚度測量系統，微機械結構數字圖象測量系統，顯微干涉式表面輪廓儀，雷射都卜勒雷射，測振儀，減薄拋光系統等。
