張韻(中科院半導體研究所研究員、博士生導師)

張韻,男,博士,研究員,博士生導師。清華大學電子工程系電子科學與技術專業學士,喬治亞理工學院電子與計算機工程系博士。中組部“千人計畫”青年項目引進人才。中國科學院半導體研究所所長助理,“十二五”科技部“第三代半導體材料”總體專家組成員。

基本介紹

  • 中文名:張韻
  • 職業:研究員
  • 學位/學歷:博士
  • 專業方向:電子工程系電子科學與技術
人物履歷,研究領域,科研成果,

人物履歷

曾就職於美國高平(Kopin)半導體公司III-V部門從事研發工作。2012年初回國工作,就職於中國科學院半導體研究所。中組部“千人計畫”青年項目引進人才。中國科學院半導體研究所所長助理,“十二五”科技部“第三代半導體材料”總體專家組成員。目前科研重點是AlGaN/GaN基大功率高頻/電力電子器件、AlGaN基深紫外波段光電子材料與器件等。

研究領域

(1)半導體紫外光源領域:高Al組分AlGaN半導體材料MOCVD生長研究;UVB波段(280-320nm)AlGaN基紫外雷射二極體器件製備研究;UVC波段(200-280nm)AlGaN基高效紫外發光二極體器件製備及在污染物分解、殺菌消毒等領域的套用研究等。
(2)微電子器件領域:AlGaN/GaN基射頻/微波高電子遷移率場效應管(HEMT)材料生長及器件製備研究;AlGaN/GaN基增強型(E-mode)HEMT材料生長及器件製備研究;InGaN/GaN基射頻異質結雙極電晶體(HBT)材料生長及器件製備研究;AlN基體聲波濾波器製備研究等。
(3)第三代半導體單晶材料領域:高純半絕緣SiC單晶材料製備研究;AlN單晶材料製備研究等。

科研成果

在III族氮化物(GaN基材料)等第三代半導體材料及器件物理領域開展了多年研究,獲得了首個GaN基射頻異質結雙極電晶體(HBT)、高靈敏度深紫外雪崩光電二極體(APD)、高亮度深紫外發光二極體(LED)、電注入藍綠光半導體雷射器(LD)、光泵浦深紫外半導體雷射器等世界先進的研究成果,已在國際學術期刊發表論文30餘篇。2012年初入選中組部第二批“千人計畫”青年項目。
(1)提出紫外光加強濕法刻蝕方法以及雙台面耗盡層設計,降低GaN基紫外雪崩光電二極體的表面漏電流,在GaN體襯底上達到雪崩光電增益超過104並實現具備單光子探測能力的蓋革模式工作。
(2)在GaN體襯底上實現了420nm藍紫光和460nm藍光InGaN基半導體雷射器的室溫連續激射,證實漸變AlGaN電子阻擋層能夠大幅度提升InGaN基雷射器的性能。
(3)在藍寶石襯底上實現了最高回響頻率大於5.3GHz的GaN基射頻異質結雙極電晶體。並在GaN體襯底上達到了141KA/cm2的電流密度以及3.05MW/cm2的功率密度。
(4)在我國首次實現AlGaN基雷射器短於280納米深紫外UV-C波段光泵譜激射,並在280納米波段深紫外LED中實現100mA大電流注入下光功率輸出超過10mW,壽命(L80)超過3000小時。

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