張權治

張權治，男，畢業於大連理工大學，博士，大連理工大學副教授。

基本介紹

• 中文名：張權治
• 畢業院校：大連理工大學
• 學位/學歷：博士
• 專業方向：電漿物理
• 任職院校：大連理工大學

人物經歷

教育經歷

2005.09-2009.07 大連理工大學 物理與光電工程學院 套用物理 學士
2009.09-2014.07 大連理工大學 物理與光電工程學院 電漿物理 博士
2013.10-2014.04 比利時-安特衛普大學 化學學院 電漿化學 博士(聯合培養-雙博士學位)

工作經歷

2014.08-2016.05華為技術有限公司(2012實驗室) 研究工程師
2016.06-2019.06比利時-安特衛普大學 博士後（瑪麗居里學者）

社會兼職

2013.03-2013.04，中微半導體設備有限公司（上海）數值模擬工程師（實習）
2012.07-2012.11，大連英特爾（Fab68）晶片廠 工藝工程師（實習）

研究領域

粒子模型(PIC/MC)，刻蝕模型，Comsol流體，0D化學反應模型-數值建模

射頻容性耦合電漿源中電子加熱機制

脈衝調製容性放電物理機理

多孔材料-電漿低溫刻蝕技術研究（與IMEC合作）

電漿刻蝕中充電效應的數值模擬研究

射頻容性耦合電漿/感性耦合電漿中的電非對稱效應(多頻偏置技術）

直流/射頻容性耦合電漿刻蝕機 -放電機制模擬

大氣壓流柱放電機制模擬