作為一個工藝單元，光刻為工藝集成服務。工藝集成對每一個單元工藝（包括光刻）的要求被詳細地定義在一個檔案中，這個檔案稱為工藝假設（process assumption）。 基本介紹 中文名：工藝式假設外文名：process assumption 對應每一個技術節點，都會有一個工藝假設檔案。工藝假設檔案中關於光刻的部分定義了每一個光刻層所使用的光刻設備、膠厚、套刻誤差與線寬；並且規定了套刻誤差與線寬允許的偏差範圍。
