導電粒子顯微鏡

產品介紹

套用領域：LCD液晶、導電粒子、彩色濾光片、手機螢幕、FPD模組、半導體晶圓片、FPC、PCB IC封裝、光碟CD、圖像感測器CCD、 CMOS、PDA等。

光源：採用3W 高亮度LED落射和透射照明裝置。

物鏡：高清晰平場螢光物鏡。

偏光：主機內含有可調節偏光裝置。

微分干涉DIC：主機內含有可調節微分干涉DIC裝置，使觀察更清晰，具有更強的立體感和調焦功能。

工作原理

導電粒子顯微鏡是利用電子束在樣品表面掃描激發出來代表樣品表面特徵的信號成像的。主要用來作微形貌觀察、顯微成分分析。解析度可達到1nm，放大倍數可達5×10⁵倍。

(1)掃描電鏡所用樣品的製備方法簡便(固定、乾燥和噴金)，不需經過超薄切片；

(2)能夠直接觀察樣品表面的結構，樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

(3)掃描電鏡所觀察到圖像景深長，圖像富有立體感；掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。

(4)圖象的放大範圍廣，解析度也比較高。圖像的放大倍率在很大範圍內連續可變(10¹-10⁵×)，解析度介於光學顯微鏡與透射電鏡之間，可達3nm。

(5)樣品的輻射損傷及污染程度小等。

(1)解析度還不夠高(1-10nm)；

(2)只能顯示樣品的表面形貌，無法顯示內部詳細結構。