射頻輝光放電質譜儀

射頻輝光放電質譜儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2015年6月17日啟用。

基本介紹

• 中文名：射頻輝光放電質譜儀
• 產地：英國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年6月17日
• 所屬類別：分析儀器 > 質譜儀器 > 無機質譜儀

技術指標

可測元素：元素周期表中除氫（H）外的所有元素，包括常用分析方法難以測定的C、N、O、P、S等輕元素 最低檢出限：優於100ppt； 解析度：優於4000； 分析速度：快速，一次可給出多量、少量、痕量及超痕量多元素分析結果 精密度：高。

主要功能

固體樣品直接分析，是固體材料多元素分析尤其是高純材料分析強有力的工具。另外，該儀器配有射頻源(rf)，可實現非導體樣品(晶體、陶瓷等)直接分析；同時，depth-profile功能可對雜質元素進行深度剖析。