射頻感應耦合電漿中放電模式轉換機理的研究

《射頻感應耦合電漿中放電模式轉換機理的研究》是依託大連理工大學,由王友年擔任醒目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：射頻感應耦合電漿中放電模式轉換機理的研究
• 依託單位：大連理工大學
• 項目類別：面上項目
• 項目負責人：王友年

項目摘要

本項目針對平面線圈感應耦合電漿（ICP）的放電過程，建立反應腔室中多物理、化學過程的非線性自洽耦合模型，採用流體力學/蒙特卡羅混合模擬方法對容性耦合和感性耦合兩种放電的模式轉換機理進行研究，並利用Langmiur探針、發射光譜等診斷方法對放電模式轉換現象進行觀測，以驗證理論模型和數值模擬方法的可靠性。本項目將重點探討工作氣體的化學反應、外界網路的匹配、射頻偏壓及中性氣體的流動等因素對放電模式轉換過程中電子密度、電子溫度及電子能量分布等物理量跳變行為的影響，確定發生模式轉換時對應的放電參數範圍，並期望研究結果能對實際的電漿工藝過程提供必要的參數選擇依據。

結題摘要

本項目針對平面線圈感應耦合電漿的放電過程，建立了反應腔室中多物理、化學過程的非線性自洽耦合模型，採用流體力學模擬方法對容性耦合和感性耦合兩种放電的模式轉換機理進行了研究，並利用Langmuir探針、發射光譜等診斷方法對放電模式轉換現象進行了觀測，分析了工作氣體的化學反應、外界網路的匹配、射頻偏壓等因素對放電模式轉換過程中電子密度、電子溫度等物理量跳變行為的影響。在本項目執行期間，本課題組發表論文15篇，其中SCI收錄的期刊9篇，會議論文6篇；獲得軟體著作權1份；培養研究生7人，其中博士研究生4人，碩士研究生3人；承辦大型國際會議1次。