《寬頻準分子雷射投影光刻研究》，論文作者：張雨東著，導師：王之江研究員指導，學科專業：光學儀器。
基本介紹
- 中文名：寬頻準分子雷射投影光刻研究
- 論文作者：張雨東
- 導師：王之江研究員
- 學科專業：光學儀器
副題名
外文題名
學位級別
d 1991n
學位授予單位
中國科學院上海光學精密機械研究所
學位授予時間
1991
關鍵字
雷射光刻 光刻 微電子技術
館藏號
唯一標識符
108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.012002640864
館藏目錄
BSLW 1999 TN405.7 2\ \
